V型密褶式活性炭过滤器：半导体制造洁净环境中的关键防护屏障 一、引言 在半导体制造过程中，洁净室的空气质量直接影响到产品的良率与性能。随着制程工艺不断向纳米级演进，对空气洁净度的要求也日益严...
V型密褶式活性炭过滤器：半导体制造洁净环境中的关键防护屏障
一、引言
在半导体制造过程中，洁净室的空气质量直接影响到产品的良率与性能。随着制程工艺不断向纳米级演进，对空气洁净度的要求也日益严苛。V型密褶式活性炭过滤器（V-Bank Pleated Activated Carbon Filter）因其高吸附效率、低风阻、结构紧凑等优势，在半导体制造环境中得到了广泛应用。该类过滤器不仅能有效去除空气中的挥发性有机化合物（VOCs）、酸性气体（如HCl、HF、SO₂）和碱性气体（如NH₃），还能防止分子污染物对晶圆表面造成化学腐蚀或颗粒污染。本文将系统介绍V型密褶式活性炭过滤器的工作原理、技术参数、应用场景及其在半导体制造中的重要作用，并结合国内外研究成果进行深入分析。
二、V型密褶式活性炭过滤器的基本原理
2.1 过滤机理概述
V型密褶式活性炭过滤器是一种高效吸附型空气过滤装置，其核心功能是通过活性炭材料的物理吸附和化学吸附作用，捕获空气中各类气态污染物。活性炭具有高度发达的微孔结构，比表面积可达500~1500 m²/g，能够有效吸附多种有害气体分子。
- 物理吸附：基于范德华力，适用于非极性分子，如苯、甲苯等。
- 化学吸附：通过化学反应与目标气体发生作用，常用于去除酸性或碱性气体。
2.2 V型结构设计的优势
相较于传统的平板式或筒式活性炭过滤器，V型密褶式结构具有以下优势：
| 特点 | 描述 |
|---|---|
| 高效容尘量 | V型褶皱结构增加了单位体积内的吸附面积，提升整体处理能力 |
| 低风阻 | 空气流动路径优化，减少压降，提高通风效率 |
| 节省空间 | 结构紧凑，适用于空间受限的洁净室环境 |
| 易于安装与更换 | 模块化设计便于维护，降低运维成本 |
三、产品技术参数与规格
下表列出了常见型号的V型密褶式活性炭过滤器的主要技术参数（以某国际知名厂商型号为例）：
| 参数 | 规格描述 |
|---|---|
| 型号 | VBAC-300、VBAC-400、VBAC-600 |
| 尺寸（mm） | 610×610×292（标准模块） |
| 材料 | 高密度活性炭颗粒、无纺布载体、铝制外框 |
| 吸附介质类型 | 普通活性炭、浸渍活性炭（如KOH、AgNO₃改性） |
| 初始压差 | ≤80 Pa @ 0.5 m/s风速 |
| 额定风量 | 1200~3000 m³/h |
| 效率（典型值） | 对NH₃：≥95%；对HCl：≥92%；对VOCs：≥85% |
| 使用温度范围 | -10°C ~ 70°C |
| 大湿度耐受 | ≤85% RH（不结露） |
| 更换周期 | 6~12个月（视污染负荷而定） |
| 认证标准 | ISO 16890、ASHRAE 52.2、UL 900 Class 2 |
此外，部分高端型号还配备智能监测接口，可接入楼宇自控系统（BAS），实现远程监控与预警功能。
四、在半导体制造洁净环境中的应用需求
4.1 半导体制造中对空气质量的严格要求
根据《洁净厂房设计规范》（GB 50073-2013）以及SEMI S23（Semiconductor Equipment Environmental Health & Safety Guideline）的相关规定，半导体洁净室需控制如下污染物：
| 污染物类别 | 控制限值（典型） | 来源 |
|---|---|---|
| 颗粒物（PM2.5） | <10 μg/m³ | 工艺设备、人员活动 |
| VOCs | <10 ppb | 化学试剂、清洗剂、胶水等 |
| 酸性气体（HCl、HF、SO₂） | <1 ppb | 干法刻蚀、湿法清洗等 |
| 碱性气体（NH₃） | <1 ppb | 清洗液、显影液、去离子水系统等 |
这些分子级污染物即使浓度极低，也可能导致晶圆表面形成氧化层、金属线腐蚀、光刻胶缺陷等问题，进而影响器件性能与成品率。
4.2 V型密褶式活性炭过滤器的应用场景
在半导体厂中，V型密褶式活性炭过滤器通常被部署在以下关键环节：
| 应用环节 | 功能说明 |
|---|---|
| 新风预处理系统 | 去除外部空气中携带的VOCs与酸碱气体 |
| 循环空气净化系统 | 控制内部循环空气中的分子污染物浓度 |
| 局部洁净区（如光刻间、封装间） | 提供高纯度局部空气环境 |
| 排风处理系统 | 减少废气排放中的有害气体含量 |
例如，在台积电（TSMC）的先进制程工厂中，V型活性炭过滤器被广泛应用于新风机组中，作为“Molecular Contaminant Control”系统的一部分，确保进入洁净室的空气达到ISO Class 1级别的分子清洁度标准。
五、国内外研究进展与案例分析
5.1 国内研究现状
中国近年来在空气净化与分子污染物控制方面取得了显著进展。清华大学环境学院在《环境科学学报》上发表的研究指出，活性炭负载不同化学改性剂（如Ag⁺、CuO）可显著提升对NH₃与HCl的吸附效率[1]。此外，中科院过程工程研究所开发了新型复合型活性炭材料，具有更强的抗湿性能，适合高湿度环境下使用[2]。
国内厂商如苏州艾科森环保科技有限公司已成功研制出适用于半导体行业的V型密褶式活性炭过滤器，并通过了多项国际认证，产品性能接近国际领先水平。
5.2 国际研究动态
美国ASHRAE（美国采暖、制冷与空调工程师协会）在其《HVAC Applications Handbook》中明确指出，V型密褶式活性炭过滤器是目前有效的分子污染物控制手段之一，尤其适用于半导体、制药与数据中心等对空气质量有极高要求的场所[3]。
日本东京大学在《Journal of Hazardous Materials》上发表的一项研究表明，采用银离子改性的活性炭对氨气的吸附容量提升了30%，且再生性能良好[4]。这为新一代高性能V型活性炭过滤器的研发提供了理论依据。
此外，德国BASF公司推出的“Carbochem”系列活性炭材料已被多家国际半导体厂商采用，其产品具有优异的选择性吸附性能，特别适用于去除HF与NH₃等关键污染物。
六、选型与配置建议
在选择V型密褶式活性炭过滤器时，应综合考虑以下因素：
| 选型要素 | 建议 |
|---|---|
| 污染物种类 | 根据主要污染物成分选择相应类型的活性炭（普通、酸性、碱性、广谱型） |
| 风量匹配 | 根据系统总风量选择合适的模块数量与排列方式 |
| 安装位置 | 建议设置在HEPA/ULPA过滤器之前，避免活性炭颗粒污染终端过滤器 |
| 维护周期 | 建议每6~12个月更换一次，具体视运行时间与污染负荷而定 |
| 监测系统 | 推荐集成在线气体检测仪，实时掌握吸附饱和状态 |
对于超净车间（Class 10~100级别），建议采用双级活性炭过滤系统，第一级为粗效吸附，第二级为高效精滤，以确保分子污染物去除率稳定在95%以上。
七、维护与管理策略
为了保证V型密褶式活性炭过滤器的长期稳定运行，需建立完善的维护管理体系：
| 管理内容 | 实施方法 |
|---|---|
| 定期更换 | 按照制造商推荐周期更换，避免吸附饱和后二次释放 |
| 性能监测 | 安装在线气体传感器，监测NH₃、HCl等关键指标变化趋势 |
| 系统清洁 | 定期清理风机、管道及周边区域，防止灰尘堵塞 |
| 数据记录 | 建立电子台账，记录更换时间、运行参数、检测结果 |
| 废弃处理 | 活性炭属于危险废物，需交由专业机构进行无害化处理 |
同时，建议与供应商签订年度服务协议，获得技术支持与备件保障，确保生产连续性。
八、未来发展趋势
随着半导体产业向更高集成度发展，对分子污染物控制的要求也将不断提升。未来的V型密褶式活性炭过滤器将呈现以下几个发展方向：
- 多功能复合材料：研发具备同时去除多种污染物（如VOCs + NH₃ + HF）的复合型吸附材料；
- 智能化监测系统：集成无线传感模块，实现远程数据采集与预警；
- 绿色可持续发展：推广可再生或生物基活性炭材料，减少碳足迹；
- 模块化快速更换：优化结构设计，实现即插即用，缩短停机时间；
- AI辅助决策系统：通过大数据分析预测更换周期与运行效率，提升运维效率。
例如，英特尔（Intel）在其下一代洁净室系统中已开始试点应用带有AI预测功能的智能活性炭过滤模块，实现了能耗降低15%的同时，吸附效率提升至98%以上。
参考文献
- 张晓东, 王伟, 李明. 改性活性炭对氨气吸附性能的研究[J]. 环境科学学报, 2020, 40(4): 1356-1363.
- 中科院过程工程研究所. 新型复合活性炭材料的研发与应用[J]. 化工进展, 2021, 40(7): 3456-3462.
- ASHRAE. HVAC Applications Handbook 2020 Edition[M]. Atlanta: ASHRAE Inc., 2020.
- Takeda N, et al. Silver-modified activated carbon for ammonia removal: Adsorption performance and mechanism study[J]. Journal of Hazardous Materials, 2022, 421: 126689.
- SEMI S23-0703, Environmental Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment[S]. SEMI, 2003.
- GB 50073-2013 洁净厂房设计规范[S]. 北京: 中国计划出版社, 2013.
- 苏州艾科森环保科技有限公司. V型密褶式活性炭过滤器技术白皮书[Z]. 2023.
- BASF SE. Carbochem Product Brochure[R]. Ludwigshafen, Germany: BASF, 2022.
注：本文章内容仅为学术交流与技术探讨之用，不代表任何厂商立场。文中所引用数据均来自公开资料，如有版权问题，请联系作者删除。
